流量计_温度传感器_压力传感器_液位传感器_连接件_泵阀

气体质量流量控制器 MFCW-01 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 2SCCM-10SCCM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-02 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 10SCCM-5SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-03 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 5SLM-50SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-04 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 50SLM-100SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-05 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 100SLM-300SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-06 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 50SLM-200SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-07 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 300SLM-500SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-08 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 500SLM-2000SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

气体质量流量控制器 MFCW-09 Model

薄膜沉积离子注入刻蚀工艺单晶圆清洗

测量介质气体

量程范围(N2 Eqv) 10SCCM-20SLM

控制范围量程比50:1, 100:1可选

响应时间 ≤1.0sec

精度等级 ≤ 设定值的±1%

线性度 ≤ 满量程的 0.5%

重复性 ≤ 满量程的± 0.2%

耐压橡胶：Max 1.5 MPa ;金属：Max 3 MPa

高温纯水pH AXPH-10 Series

监控纯水制备系统的运行状态

测量范围 0 - 14 pH

温度测量范围 0 - 130℃

响应时间 < 30s

盐桥类型特种多孔陶瓷芯

电极材质耐高温玻璃

耐压等级 0 - 6 Bar（最大）

防护等级 IP68

电导率传感器 AGEC-10 Series

监控纯水制备过程的稳定性验证纯水纯度是否达标辅助分析水质异常原因

测量范围 0 - 20 μS/cm

温度测量范围 0 - 130℃

电极材质 SS316L

电极常数 0.01

耐压范围 0 - 5Bar（最大）

防护等级 IP68

尺寸与连接方式 1.5英寸卡盘连接

PH电导率电极变送器 RSVPH-10 Series

纯水系统生物发酵

通道配置支持 1 或 2 通道测量

传感器兼容性 pH/ORP 电极、氟离子电极、溶氧 / 光学氧传感器

外壳与安装方式提供 1/4DIN 或 1/2DIN 两种规格

供电电源 100-240 VAC或 24 VDC

显示界面 4 寸彩色触摸屏

核心操作功能自动终点识别、自动缓冲液识别、一键校正等功能

信号输出与通讯模拟输出（4-20mA）/ RS485 通讯

温度补偿内置温度补偿功能

尺寸 144x144mm

电极变送器 RSVPH-11 Series

纯水系统生物发酵

通道配置支持 1 或 2 通道测量

传感器兼容性 pH/ORP 电极、氟离子电极、溶氧 / 光学氧传感器

外壳与安装方式提供 1/4DIN 或 1/2DIN 两种规格

供电电源 100 - 240 VAC或 24 VDC

显示界面 4 寸彩色触摸屏

核心操作功能自动终点识别、自动缓冲液识别、一键校正等功能

信号输出与通讯模拟输出（4-20mA）/ RS485 通讯

温度补偿内置温度补偿功能

尺寸 96x96mm

超声波流量计(外夹式) MSNP-P Series

化学品供应系统电镀设备 CMP 湿法蚀刻晶圆清洗设备

安装尺寸(套管外径) 1/4" - 1"

管材 PFA / PTFE / 和其他硬质塑料管

流量范围 0~150L/min

精度 2%（读数值）

通讯接口 4~20mA/PNP/RS485

工作电压 12-30 VDC

温度范围 0~60℃

电磁流量计 MKF Series

冷却水/液循环监控

流速范围 0.005m/s - 6.5m/s

口径 6mm/12mm/20mm

量程比 >100 : 1

重复性 <0.05%

电导率 ≥5μs/cm

测量精度 ±0.5% of rate，
±0.2% of rate（可选）

温度测量精度 ≤0.5℃

输出功能 4-20mA /脉冲，
频率输出/RS485, HART（可选）

温度稳定性 10 - 55℃

供电电压 24 VDC

涡街流量计 MPWUS Series

冷却水循环监控

测量介质液体(粘度在3mPa-s[3cP]以下)

流量范围 0.5 - 100L/min

精度 ±3%

重复精度 ±2%

耐压 15bar

输出方式 PNP、NPN/模拟量输出 (4-20mA)

电源电压 12 - 24 VDC±10%

介质温度 0 - 90℃

涡轮流量计 MPWY Series

冷却液循环监控超纯水系统流量监控

量程范围 0.3 - 10 m/s

量程比 20:1

精度 ±1% FS

管道尺寸适配 DN06 - DN65

重复性 ±0.4% FS

工作电压 12~36伏直流

温度范围 -15 - +90℃

压力耐受 PN16

涡轮流量计 MPWY Series

冷却液循环监控超纯水系统流量监控

量程范围 0.3 - 10 m/s

量程比 20:1

精度 ±1% FS

管道尺寸适配 DN06 - DN65

重复性 ±0.4% FS

工作电压 12~36伏直流

温度范围 -15 - +90℃

压力耐受 PN16

液位传感器 MXR Series

石油与化工制药与生物技术水处理与环保电力能源

适用性广，固体液体及浆料均可检

可靠性强，不受泡沫的影响

抗粘附性可有效检测粘附性导电浆液

结构紧凑，适合小狭小空间安装

接液材质 PEEK/及不锈钢适合卫生级工业应用

抗粘附性不受粘稠介质的影响，最高可达50000cp

使用方式方便，便携式操作仪设定及查看过程变量

温度范围标准型115℃散热型150℃

液位传感器 LSHM Series

石油与化工制药与生物技术水处理与环保电力能源

使用寿命长

输出特性绝对量输出，不需定期标定，重启无需重归零位

抗干扰性强

测量精度高（分辨率最高 1um），可实现精准测控

安装维护易于安装和维护

输出信号采用标准输出信号，便于客户系统自动化升级

液位传感器 MXRN Series

石油与化工制药与生物技术水处理与环保电力能源

结构简单，部件连接牢固，可靠性高，维修量极少，一般情况下不需要维修

安装方便，标准螺纹结构简易便捷，内装式结构尤其显示出这一特点

调整方便，零位量程按键设定，随意设定液位检测有效范围，不受工艺条件变化的影响

适应范围广，针对具体检测内容，可定制产品，适用多种苛刻条件下的液位检测

温度传感器 PTC&PTR Series

金属冶炼与热处理石油化工与煤化工热处理与工业炉制造

测温范围 0 - 1600℃，用于测量高温环境的温度

热电偶可提供各种分度的热电偶

接线盒铸铝接线盒，防护等级IP65

接线盒环境温度可达100℃

套管非金属套管用于保护热电偶插芯免受化学腐蚀和机械损伤

标准热电偶插芯符合EN 60584标准或DIN 43710标准

压力传感器 DLH Series

石油与天然气化工与精细化工水处理与环保制药与生物技术

压力类型表压

量程范围类型:1kPa-40MPa，详见选型表

输出信号 4-20mA、4-20mA+HART、0-5VDC.Modbus-RTU/RS485及其它

参考精度 ±0.1%量程上限，可选0.075%

量程上限详见规格参数

超声波流量计 SONOFLOW IL.52

半导体制造薄膜沉积清洗工艺气体流量监测生物制药

测量原理超声波非侵入式测量

测量精度误差小于±1%

特点非侵入式设计，无压力损失

流量范围宽流量范围，适应不同工艺需求

数据传输实时数据传输，便于工艺控制

适用介质高纯度气体和液体

超声波气体流量计 Semiflow CO-65

半导体制造气体流量控制薄膜沉积刻蚀工艺

测量原理超声波技术

适用环境恶劣的工业环境

特点抗干扰能力强，适用于复杂环境

使用寿命长，低维护成本

输出接口多种输出接口，易于集成

行业优化专为半导体行业优化

防爆型超声波流量计 Semiflow CO-66-EX

防爆环境易燃易爆气体测量危险区域半导体制造

防爆标准符合国际防爆标准

测量精度高精度测量，满足工艺要求

结构特点坚固耐用，适应恶劣环境

监控功能远程监控能力，便于管理

安全性适用于危险区域安全运行

应用场景易燃易爆气体测量

超声波流量检测器 SONOCHECK ABD06

生物制药发酵过程配液系统纯化工艺

测量原理非接触式超声波测量

GMP标准符合GMP标准

特点无交叉污染风险，易于清洁和验证

测量精度高精度检测，满足制药要求

系统集成易于集成到现有系统

适用环节发酵、配液、纯化等工艺环节

超声波流量控制器 SONOCONTROL 15

生物制药配液系统纯化工艺灌装过程

功能集成集成测量和控制功能

流量调节精确的流量调节能力

卫生标准符合卫生标准，易于清洁

可靠性稳定可靠，适合连续生产

适用工艺配液、纯化等关键工艺环节

特点集成了测量和控制功能

超声波流量检测器 SONOCHECK ABD05

生物制药发酵过程配液系统清洗验证

测量原理超声波技术

测量精度高精度流量检测

介质适应适应不同粘度的液体

卫生标准符合卫生标准，易于清洁

运行稳定性稳定可靠，适合长时间运行

适用工艺发酵、配液等工艺环节

高精度超声波流量检测器 SONOCHECK ABD07

生物制药高纯度药液精密配液质量控制

测量精度超高精度测量

信号处理先进的信号处理技术

GMP标准符合GMP标准，卫生安全

通信接口多种通信接口，易于集成

适用场景对精度要求极高的制药工艺

特点采用最新的超声波技术

超声波流量计 SONOFLOW CO-55

生物制药药液流量监测工艺流体灌装过程

测量原理超声波非侵入式测量

测量精度高精度流量测量

设计特点非侵入式设计，无交叉污染

卫生标准符合卫生标准，易于清洁

运行稳定性稳定可靠，适合长时间运行

适用介质各种药液和工艺流体

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