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产品分类

全部 气体流量计 液体流量计 测控分析 其它控制辅件

应用领域

半导体&泛半导体领域 生物医疗领域
MSNP-P Series
化学品供应系统 电镀设备 CMP 湿法蚀刻 晶圆清洗设备
安装尺寸(套管外径) 1/4" - 1"
管材 PFA / PTFE / 和其他硬质塑料管
流量范围 0~150L/min
精度 2%(读数值)
通讯接口 4~20mA/PNP/RS485
工作电压 12-30 VDC
温度范围 0~60℃
MKF Series
电磁流量计 MKF Series
冷却水/液循环监控
流速范围 0.005m/s - 6.5m/s
口径 6mm/12mm/20mm
量程比 >100 : 1
重复性 <0.05%
电导率 ≥5μs/cm
测量精度 ±0.5% of rate,
±0.2% of rate(可选)
温度测量精度 ≤0.5℃
输出功能 4-20mA /脉冲,
频率输出/RS485, HART(可选)
温度稳定性 10 - 55℃
供电电压 24 VDC
MPWUS Series
涡街流量计 MPWUS Series
冷却水循环监控
测量介质 液体(粘度在3mPa-s[3cP]以下)
流量范围 0.5 - 100L/min
精度 ±3%
重复精度 ±2%
耐压 15bar
输出方式 PNP、NPN/模拟量输出 (4-20mA)
电源电压 12 - 24 VDC±10%
介质温度 0 - 90℃
MPWY Series
涡轮流量计 MPWY Series
冷却液循环监控 超纯水系统流量监控
量程范围 0.3 - 10 m/s
量程比 20:1
精度 ±1% FS
管道尺寸适配 DN06 - DN65
重复性 ±0.4% FS
工作电压 12~36伏直流
温度范围 -15 - +90℃
压力耐受 PN16
MPWY Series
涡轮流量计 MPWY Series
冷却液循环监控 超纯水系统流量监控
量程范围 0.3 - 10 m/s
量程比 20:1
精度 ±1% FS
管道尺寸适配 DN06 - DN65
重复性 ±0.4% FS
工作电压 12~36伏直流
温度范围 -15 - +90℃
压力耐受 PN16